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      塗佈機
      捲出捲取機構:
      • 雙軸放捲機構(提高換卷效率)
      • 緩衝設計(可不停線生產製造)
      • 裁切平臺設計(縮短接膜時間)
      • 上下保護膜撕膜機構設計
      • 上方HEPA高效過濾器(達成環境潔淨度要求)
      • 除靜電裝置

      塗佈烘烤設計
      • 精密Slot die兩片式組合刀頭
      • 精密控制供藥
      • 脫泡設計確保塗佈光阻液之品質
      • 張力控制器
      • 輸送段-曲線設計-可有效抑制垂流問題。
      • 設計IR及熱板進行烘烤
      • 均溫控制設計: SRR控制器-在線檢知確保溫度均勻性

       
       
      塗佈機
         
       
       
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