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		  塗佈機          
          
          
      
          
        
      
        
      
        
        
      
  
      
    捲出捲取機構:

        
	
      • 
		雙軸放捲機構(提高換卷效率)
        • 
	
      • 
		緩衝設計(可不停線生產製造)
        • 
	
      • 
		裁切平臺設計(縮短接膜時間)
        • 
	
      • 
		上下保護膜撕膜機構設計
        • 
	
      • 
		上方HEPA高效過濾器(達成環境潔淨度要求)
        • 
	
      • 
		除靜電裝置
        • 

      

      
塗佈烘烤設計

        
	
      • 
		精密Slot die兩片式組合刀頭
        • 
	
      • 
		精密控制供藥
        • 
	
      • 
		脫泡設計確保塗佈光阻液之品質
        • 
	
      • 
		張力控制器
        • 
	
      • 
		輸送段-曲線設計-可有效抑制垂流問題。
        • 
	
      • 
		設計IR及熱板進行烘烤
        • 
	
      • 
		均溫控制設計: SRR控制器-在線檢知確保溫度均勻性
        • 

      

      
      		
  
      
  
      
    
  
      
        
      
    
      
  
      
    
      
      
      
           
        
      
          
      
            
      		
             
            
      
              
      
                
                
      
              
      
                塗佈機
                
      
              
      
                
                
      
              
      
                
      		
                
      
              
      		
            
      
          
      		
          
             
      
      
      
      		
  
      
  
      
     
  
      
    
      
      		
  
         
      
    
  
      
  
      
    
      
      
      
        
      
         
        
          
      • 
          
      • 
          
      •           
      • 
           
      • 
         
      
         
      		
      
      
    
      		
  
      
          
      
         

        
      
      
      
   
      
    
      
  
      

      



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